陶瓷纖維管式爐設(shè)計用于1100℃或1700℃以下CVD工藝。采用開啟式設(shè)計，方便樣品操作及爐管更換。高純電阻絲內(nèi)嵌在輕質(zhì)陶瓷纖維材料中，周邊拓展系統(tǒng)齊全，適合高校、科研院所實驗之使用。

主要特征

1.最高溫度1100℃、1700℃。
2.分體式設(shè)計，降溫速率快。
3.工作管徑范圍φ30mm、φ40mm、φ50mm、φ60mm、φ80mm、φ100mm。
4.高純氣煉石英管或者高純陶瓷管。
5.輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料，耐熱沖擊性好，蓄熱低。
6.快速升溫，升溫速率可達10℃。
7.半導(dǎo)體繼電器控制加熱元器件，控溫精確，壽命長，無噪音。
8.多段程序控溫，PID調(diào)節(jié)，可編制多種升降溫程序。
9.超溫保護功能，超溫自動斷電。

技術(shù)參數(shù)

*非標(biāo)管徑、加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制
 

可選配置

真空泵
多區(qū)控溫，兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列（如下圖）
瑞典kanthal 電熱絲
數(shù)顯真空計（高精度顯示真空值）
多路氣氛混氣系統(tǒng)（浮子流量計或質(zhì)量流量計）
無紙紀錄儀（帶通訊端口）